今天來(lái)給大家介紹下mems陀螺儀，mems陀螺儀又被稱(chēng)之為mems傳感器，mems陀螺儀的核心是一個(gè)微加工機(jī)械單元，在設(shè)計(jì)上按照一個(gè)音叉機(jī)制共振運(yùn)動(dòng)，通過(guò)科里奧利力原理把角速率轉(zhuǎn)換成一個(gè)特定感測(cè)結(jié)構(gòu)的位移。以一個(gè)單軸偏移（偏航，YAW）陀螺儀為例，通過(guò)圖利探討最簡(jiǎn)單的工作原理。光纖陀螺儀(FOG)以前曾經(jīng)是環(huán)形激光陀螺儀(RLG)等其他技術(shù)的低成本替代品，現(xiàn)在該技術(shù)面臨自愛(ài)普生高精度陀螺儀新的競(jìng)爭(zhēng)。微機(jī)電系統(tǒng)mems陀螺儀開(kāi)始搶奪傳統(tǒng)FOG應(yīng)用的市場(chǎng)份額。具體來(lái)說(shuō)，天線陣列穩(wěn)定、農(nóng)業(yè)機(jī)械控制、常規(guī)車(chē)輛導(dǎo)航成為MEMS和FOG對(duì)峙的戰(zhàn)場(chǎng)。mems陀螺儀應(yīng)用可以從最早的汽車(chē)電子到近些年來(lái)的消費(fèi)電子，和即將來(lái)到的物聯(lián)網(wǎng)時(shí)代。如今單一的傳感器已不能滿足人們對(duì)功能、智能的需要，像包括MEMS慣性傳感器、MEMS環(huán)境傳感器、MEMS光學(xué)傳感器、甚至生物傳感器等多種傳感器數(shù)據(jù)融合將成為新時(shí)代傳感器應(yīng)用的趨勢(shì)。
愛(ài)普生mems陀螺儀與FOG光纖陀螺儀相比從性能參數(shù)看非常接近，特別是EPSON最新推出的M-G365,M-G370等系列參數(shù)已經(jīng)達(dá)到了FOG戰(zhàn)術(shù)級(jí)性能水平，但其成本卻比MEMS低出數(shù)倍。如果可以使用GNSS，而且應(yīng)用的目的是在開(kāi)放天空環(huán)境中運(yùn)行，mems陀螺儀可以取代OG光線陀螺儀。如果應(yīng)用能夠接收車(chē)輛或平臺(tái)速度更新，則愛(ài)普生mems陀螺儀系統(tǒng)可以達(dá)到與獨(dú)立FOG系統(tǒng)相同的水平。這將迅速加速六軸陀螺儀在自動(dòng)駕駛汽車(chē)等領(lǐng)域的推廣應(yīng)用。
下面南山電子給大家介紹下mems陀螺儀  M-G370的具體參數(shù)供大家選型參考：