半導(dǎo)體生產(chǎn)工藝中有很多重要的參數(shù)都和電阻有關(guān)，所以就對(duì)阻值的測(cè)量要求非常精密。本文就對(duì)兩線法測(cè)電阻和四線法測(cè)電阻做一個(gè)簡(jiǎn)單介紹。
電阻測(cè)試的通常原理是恒流測(cè)壓，測(cè)量?jī)x器產(chǎn)生恒定數(shù)值的測(cè)量電流I，通過兩根測(cè)量引線分別接觸待測(cè)量的電阻R_t的兩端電極。當(dāng)電流I流過待測(cè)電阻R_t時(shí)，測(cè)得R_t上產(chǎn)生電壓U_t。測(cè)量?jī)x器測(cè)得電壓進(jìn)而計(jì)算出電阻阻值R_t=U_t/I。但這之中產(chǎn)生了另外一個(gè)問題，就是引線也是有電阻的。在測(cè)量阻值微小電阻的時(shí)候，引線上的電阻不能忽略不計(jì)，會(huì)對(duì)最后的測(cè)量結(jié)果產(chǎn)生影響。測(cè)試結(jié)果就變?yōu)镽_t=(U_t+2U_r)/I。如圖1。
 

   
圖1

而采用四線測(cè)量時(shí)，由于四條引線分別形成電流回路和電壓測(cè)試回路，電壓測(cè)量回路的阻抗高，流過的電流可以忽略不計(jì)，電壓測(cè)試回路的引線幾乎沒有電流，所以最終測(cè)得的電壓即是待測(cè)電阻上的電壓R=U/I。如圖2。

  
圖2